航天科技八院控制所获批立项“揭榜挂帅”项目

近日，上海市科委下发2021年度“揭榜挂帅”项目批复，航天科技集团八院控制所承研的光刻机高精度镜片多能场超光滑加工技术研究项目获批立项。

该项目针对高精度镜片加工难点，开展创新制造工艺研究，在数控铣磨、数控抛光的基础上，开展纳米磨粒射流抛光、磁流变抛光和离子束抛光等技术研究，获得超光滑表面及高精度面形。

该所通过以上工艺的合理组合及加工参数优化，最终形成光刻机高精度镜片的高精高效制造工艺，高精度光刻机用镜片年加工量达500片以上。

据悉，该项目的实施可为我国解决高精度光刻机制造难题提供技术支撑，力争突破我国光刻机衍射极限光学元件超光滑制造难题。（墨洪磊）